激光平面干涉儀計(jì)量檢測工作原理
2023-12-21 by 查看:608 次數(shù)
照明系統(tǒng)發(fā)出單色激光1，通過反射鏡2、聚光鏡及光闌4射人儀器內(nèi)半透反光鏡5，通過準(zhǔn)直物鏡1 2折射為平行光后，射向標(biāo)準(zhǔn)平晶13和被檢平晶14，標(biāo)準(zhǔn)平晶1 3和被檢平晶1 4反射回來的光重疊形成相干光束。
相干光反束射回經(jīng)半反射鏡5、反射鏡6、轉(zhuǎn)向鏡組7及射入光闌8，通過觀測物鏡9成像在測微目鏡 的分劃板1 0上，通過目鏡組1 1可以看到干涉條紋及測量干涉條紋的彎曲及校準(zhǔn)計(jì)量干涉條紋的間距。
激光平面干涉儀計(jì)量檢測工作原理
當(dāng)一束給定波長久的單色平行光照射到由兩個(gè)平面組成楔形角z很小的空氣楔時(shí)，被兩平面分別反射回來的兩束相干光在相遇處存在一定的光程差，這個(gè)光程差△只與空氣隙 的厚度^有關(guān)，厚度相同的地方，兩束反射光的光程差相同，因此在同一條干涉條紋出現(xiàn) 的地方正是有空氣隙厚度相同的地方所產(chǎn)生的反射光形成的，稱之為“等厚干涉原理。
外校儀器等厚干涉條紋的形狀決定于空氣隙厚度相同的地方的軌跡。
因此，根據(jù)干涉條紋的形確定平面度。
